Technology VeritySEM® 10 卡帶-SEM 數目測系統專門用關鍵尺寸於直觀精確測量由其極其熒光 （EUV） 及新興低數值孔徑 （High-VT） EUV微影控制技術時所表述的的石墨模組的的關鍵性大小 critical probability）。 但此模塊為客戶提供了能技術領先業內的次nm激光束（eBEAM）求解
關鍵性長寬Critical Dimension，縮寫ROM)：半導體器件白光掩模生產光刻手工中關鍵尺寸會作為評估結果調節生產工藝。
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妮英語語義）
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關鍵尺寸|關鍵尺寸:晶片上的物理尺寸特徵被稱為特徵尺寸。 特別值得關注。 - 5樓 破解 -
